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高精度影像儀解決半導體尺寸測量難題
半導體類尺寸測量一直是行業難題,微小尺寸檢測需要很高精度的影像測量設備才能完成。
Optiv Reference是高精度復合式影響測量系統,是七海影像儀中精度最高的多傳感器儀器。是一款高精度型固定橋式超高精度的復合式影像測量系統,機器配備專利雙Z軸設計,能通過兩個垂直軸安裝觸發和發光傳感器,給實際測量工作中帶來不少便利和減少來回設置的麻煩。全花崗巖結構,精密V形燕尾導軌設計Y軸,讓機器能保持出眾的穩定性,為精準測量提供基礎。工業級高清晰度CCD相機,配合可調三種光源,能夠捕捉清晰的影像信息。
通過不斷驗證完成后,影像團隊對設備方案進行調整,整合集團全球資源。推薦的高精度Optiv Reference 10103(E1=0.3+L/600μm ;E2=0.6+L/600μm)影像測量儀最終得到客戶的認可,并確認采購Optiv Reference復合式影像測量儀。
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